三大行業的潔淨車間潔(jié)淨度等級(jí)要求

2020-06-02 13:55:55 匯鑫潔淨(jìng)技術(廣州)科(kē)技有限公司 93

潔淨車間已廣泛應用於各行各業的產品(pǐn)生產或其他要求防止粒子汙染、微生物汙染的環(huán)境控製,由(yóu)於各行各業的產(chǎn)品特性不(bú)同、各種產品的生產工藝不相同,使用要求不(bú)同,因(yīn)此要求控製環境的內(nèi)容、指標均會不相同。潔淨車間環境控製的內容包括以下(xià)這些:空氣淨化(huà)、潔淨建築、與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備、工器具等的汙染物控製以及微振動、噪聲、靜電(diàn)的控製、防止等。所(suǒ)以潔淨車(chē)間的設計不僅要求對室內的空氣(qì)進行淨化達到規定的空氣潔淨度等級,還(hái)必須防止因(yīn)潔(jié)淨車間的建造用材料、裝飾方式不當帶來的(de)汙染,有的(de)潔淨車(chē)間還(hái)要求(qiú)供給超純水、超純氣體和高純的化學品等。


一、半導體集成電路要求的空氣潔淨度等級


集成(chéng)電路生產環境(jìng)要求的空氣潔淨度等級(jí)主要取決於集成電路的集成度,不同工序的(de)空氣潔淨度等(děng)級是依據可能汙染的概率和對器件的潛在故障(zhàng)確定的。


舉例說明:


例一、某廠集(jí)成電路前工序潔(jié)淨車間,潔淨車間設計按加工、生產6英寸矽片、1M集成(chéng)電路,圖形特形尺雨1.0um,控製(zhì)粒子粒徑0..1um.


潔淨(jìng)車間空氣潔淨度等級要求:


光刻、勻膠區 ISO 3級(jí)


離子注入、刻(kè)蝕CVD、外(wài)延、擴散等操作區 ISO 3級(jí)


離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維(wéi)修區 ISO 5級


例二、某廠集成電路前工序潔淨車間,潔淨車間設計按加工、生產5英寸矽片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um,控製粒子粒(lì)徑0.2um.


潔淨(jìng)車間(jiān)空氣潔淨度等級要求(qiú):


光刻、勻膠區 ISO 3級


離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 ISO 4級


離子注(zhù)入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) ISO 6級


二、一些電子產品生產環境的空(kōng)氣潔淨度等級


隨著信息產業技術的發展,許多電(diàn)子產品性(xìng)能、質(zhì)量的提高和(hé)生產過程的微細化,日益要求生產環境具有一定的空氣潔淨度(dù)等級和控製潔淨車間內工藝生產所需的各類高純物質的供給質量(liàng),目(mù)前國內外還沒有統一電子產品的空氣潔淨度等級或生產環境(jìng)控製要求(qiú)的統一規定(dìng),各種電子產品的生(shēng)產廠家依據其生產的產品品種、所采用的生產工藝技術、生產工藝設備、生產用原輔料以及潔淨車間運行的實踐經驗確定設計建造(zào)潔淨車間的空(kōng)氣潔淨度等級。


舉例說(shuō)明:


例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產用無塵車間,TFT-LCD具有體積小、質量輕、易攜帶(dài)、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨率等(děng)優點。


各潔淨車間空氣潔淨度等級,控製粒子粒徑為0.3um


清洗、塗膠、曝光間 ISO 4級


顯影、刻蝕間 ISO 5級


成盒間 ISO 5級


濺射、CVD間 ISO 6級


例二、某(mǒu)高密度(dù)磁帶生產用潔淨廠房、潔淨車(chē)間控製微粒粒徑(jìng)0.5um


各潔淨車間的空氣潔淨度等級要求


塗布頭 ISO 5級


備件(jiàn)、切帶、帶基(jī)、測試、塗布間和烘(hōng)幹、固化間 ISO 6級


組裝、維修間和部分原料庫 ISO 7級


砂磨、化驗間和配(pèi)件間(jiān) ISO 8級


成品庫和部分原料(liào)庫 準潔淨車間


三、精密機械、精細化工等產品生(shēng)產環境的空(kōng)氣潔淨度等級


例一、陀螺儀生產用潔淨車間


潔淨車間空氣潔淨度等級要求


裝配間 ISO 6級


軸承加工間 ISO 5級


例二、感光膠片生產用潔淨車間(jiān)


流延機(jī)頭部,塗布機(jī)頭部(bù) ISO 5級


塗布室(shì)、流延機室(shì) ISO 6級


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